罗茨真空泵广泛地应用于单晶炉、铸锭炉的配套上，以及镀膜、电工、冶炼、化工、陶瓷、航空、实验室等多种场合的真空镀膜、真空干燥、真空脱气、真空浸渍、真空钎焊、真空热处理、真空浓缩、真空反应、高空模拟试验等工艺项目上。

罗茨真空泵不能单独使用，常以其他泵种作为前级泵组成罗茨泵机组，来获得更好的真空，更高的抽气效率。因此，机组运作效果很大程度上取决于前级泵的性能。那么，罗茨真空泵性能决定因素有哪些呢？

1、基础压力。基础压力对罗茨泵而言，并不是罗茨泵本身的特征性能指标，它在很大的程度上取决于前级泵的类型(基础压力)和温度，因此在标注泵的基础压力时，须同时注明所配置的前级泵类型。

2、漏率。漏率是属于罗茨真空泵自身的性能影响因素，与前级泵无关，也基本上不受温度的影响。

3、零流量压缩比。零流量压缩比是罗茨泵有关抽气性能的非常重要的特征性能指标，它与泵相互转动零部件之间的间隙有关，也与转速和气体种类有关，也是属于罗茨真空泵自身决定性能的因素的一种。

4、容许压差。此项是考核罗茨泵运转可靠性的特征性能指标。它与泵相互转动零部件之间的间隙有关，也与转速有关。如要以此作为提升罗茨真空泵性能的条件，相互转动零部件之间的间隙以大为好，转速也以低为好。