真空泵的作用是对真空系统(器件)进行抽气从而达到一定的真空泵(或者压力)。
那么真空度究竟有多高是多少呢?就需要用到各种真空度的测量仪器了,即真空计。
需要说明的是真空度测量是对低于大气压的气体作全压的测量,所以真空计是测量真空系统中低于大气压的所有气体总压的仪器。如果要测某种气体的分压力,则需要四级质谱计那样的分圧计来测量。
真空计包括两部分组成:真空规管和控制线路。
真空计的分类如下:
按工作原理可分为绝对真空计和相对真空计。
常见的真空计有:真空压力表(布尔登规) 10*5~100pa
压阻式真空计 10*5~10pa
石英真空计 10*5~10pa
U型管真空计 10*5~10pa(水银) 10*5~1pa(油)
压缩真空计 电阻真空计(皮拉尼真空计) 热偶真空计
热(冷)阴极电离真空计 B-A电离真空计 克努曾真空计