真空度的测量都有什么仪器仪表
摘要:真空度的测量都有什么仪器仪表呢?今天特耐尔真空跟大家一起来总结学习一下:
真空度的测量都有什么仪器仪表呢?今天特耐尔真空跟大家一起来总结学习一下:
(一)真空计的种类很多,根据工作原理可分为:绝对真空计和相对真空计。
(二)弹性变形真空计:如真空压力表、薄膜真空计等。
(三)石英真空计。
(四)热传导真空计:如电阻真空计(皮拉尼真空计)、热偶真空计。
(五)热阴极电离真空计:普通型、B-A真空计。
(六)冷阴极磁控放电真空计:潘宁真空计。
(七)四极质谱计。
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