真空泵泵体各部件连接的地方都需要密封。橡胶具有很好的弹性，所以是很好的可拆连接件的过渡密封材料。

常用橡胶的性质有以下几类：

1：天然橡胶。弹性好，强度好，使用温度-60-100℃，不耐油，耐老化性差。

2：丁苯橡胶。是丁二烯、苯乙烯的共聚物。不耐油，但耐寒耐磨。

3：氯丁橡胶。是氯丁二烯的聚合物。有一定的耐油性，在大气条件下耐老化、耐臭氧性能好。

4：丁腈橡胶。是丁二烯、丙烯腈的聚合物。较好的耐油性。丙烯腈的含量越高，耐油、耐热性越好。缺点是大气条件下耐老化、耐臭氧性能差。

5：硅橡胶。是硅氧烷聚合物。耐热、耐寒，耐臭氧，良好的电绝缘性能。缺点是力学性能差，出气速率高。

6：氟橡胶。是偏二氟乙烯和全氟丙烯的共聚物。耐油、耐高温，出气速率低。

7：聚硫橡胶。耐油、耐臭氧，大气条件下耐老化。

总结：以上都可以用在前级真空的橡胶管道和真空密封垫圈。

          以氯丁、丁腈橡胶最为常用。

          硅橡胶可用于航空飞船的密封件，氟橡胶可用于超高真空泵设备密封件。